集成電路三維X射線檢測儀
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發(fā)布時間：
2023-01-05
X射線三維層析成像儀（MXCL-300）作為技術成果轉化的重要儀器設備之一，極大解決了半導體工業(yè)生產(chǎn)中大尺寸板狀物的檢測問題，集自由度高、放大比可調、大視野、高分辨、快速重建等優(yōu)點于一身，在貼片電阻、晶圓級封裝缺陷、球柵陣列封裝（BGA）缺陷、方型扁平式封裝（QFP）缺陷、絕緣柵雙極型晶體管（IGBT）焊層缺陷檢測、插件焊接質量等電路板、芯片、板狀化石等領域發(fā)揮了極為重要的作用。
