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北京同步輻射裝置助力層狀氧化鉍鐵電超薄膜材料研究取得重要進(jìn)展

文章來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2023-04-06 【字體:      
  原子尺度的高密度電子器件,如低維場(chǎng)效應(yīng)晶體管、納米級(jí)低功耗邏輯和非易失性存儲(chǔ)器等,在未來(lái)科技發(fā)展中具有重要意義。高質(zhì)量原子尺度薄膜的制備是超尺度、高密度電子器件發(fā)展的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。其中,鐵電材料因其豐富的物理特性是制備這些器件的核心材料,同時(shí)對(duì)超尺度器件的迫切需求促使原子尺度鐵電薄膜的逐步探索。近幾十年來(lái),已經(jīng)證明一些傳統(tǒng)的鈣鈦礦氧化物體系和二維鐵電系統(tǒng),同時(shí)逐漸接近亞納米尺寸,但是對(duì)于鐵電性的證明基本都是基于微觀證據(jù),而未呈現(xiàn)宏觀鐵電性質(zhì)。  

  北京科技大學(xué)張林興研究員和田建軍教授、北京工業(yè)大學(xué)盧岳教授(共同通訊作者)通過(guò)釤(Sm)取代設(shè)計(jì)了一種具有氧化鉍層狀結(jié)構(gòu)的薄膜[Bi1.8Sm0.2O3BSO],且通過(guò)溶膠-凝膠法將這種薄膜作為單相生長(zhǎng)在0001Al2O3AO001SrTiO3STO襯底上。研究表明,該材料具有厚度低至~1nm的標(biāo)準(zhǔn)鐵電電滯回線,且厚度范圍為1~4.56nm的薄膜具有17~50 μC/cm2的相對(duì)較大剩余極化。結(jié)合第一性原理計(jì)算,驗(yàn)證了該材料是一種孤電子對(duì)驅(qū)動(dòng)的鐵電材料,其超薄鐵電薄膜的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)在原子級(jí)電子器件的制造中具備巨大的潛力。這些鐵電薄膜,還呈現(xiàn)出相對(duì)較高的極化行為并有望成為各種應(yīng)用的優(yōu)異候選材料。   

  研究人員依托北京同步輻射裝置1W1A-漫散射實(shí)驗(yàn)站的X射線衍射(XRD)測(cè)試和X射線反射(XRR)測(cè)試,對(duì)該薄膜的結(jié)構(gòu)和厚度進(jìn)行了系統(tǒng)研究,證實(shí)了薄膜得到了高質(zhì)量的外延生長(zhǎng),同時(shí)說(shuō)明薄膜的厚度可以精確的控制;并與1W1A-漫散射實(shí)驗(yàn)站的王煥華研究員、博士生王震合作擬合了CTR強(qiáng)度分布,結(jié)合STEM,對(duì)第一性原理的計(jì)算結(jié)構(gòu)正確性進(jìn)行了驗(yàn)證。   

  這項(xiàng)工作開(kāi)發(fā)了新一代鐵電薄膜,為小型化和高質(zhì)量的電子器件制造帶來(lái)了巨大的潛力。相關(guān)研究成果于2023年3月24日發(fā)表在國(guó)際頂級(jí)期刊《科學(xué)》上(Science, 379, 1218-1224)   

  原文鏈接:https://www.science.org/doi/10.1126/science.abm5134。  

 

圖1.在晶面 (0001) AI203襯底上生長(zhǎng)成層狀氧化薄膜的晶體結(jié)構(gòu)表征

 

圖2.宏觀鐵電表征

 

圖3. Bi1.8Sm0.2O3,BSO薄膜的壓電響應(yīng)力顯微piezoresponse force microscopy,PFM表征  

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