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世界上最小的同步加速器在日本研制成功
2005-10-10 |文章來(lái)源: | 瀏覽次數(shù):  |

儲(chǔ)存環(huán)運(yùn)行

MIRRORCLE技術(shù)儲(chǔ)存環(huán)采用獨(dú)特的技術(shù)解決小直徑儲(chǔ)存環(huán)的挑戰(zhàn)。儲(chǔ)存環(huán)采用常規(guī)磁鐵在電子軌道整個(gè)周?chē)纬纱艌?chǎng),因此電子軌道是個(gè)完整的圓。磁場(chǎng)提供促成理想軌道的聚焦行動(dòng)。

不像通用同步加速器的束流壽命以小時(shí)或天衡量,儲(chǔ)存環(huán)中的電子壽命相當(dāng)短。但是,這的確不是一個(gè)像通用同步加速器中可應(yīng)用的參數(shù),因?yàn)殡娮蛹铀倨髟诓粩嘞騼?chǔ)存環(huán)里注入電子。

可能最重要的是在儲(chǔ)存環(huán)中采用一種稱(chēng)為擾動(dòng)器的設(shè)備,幫助把電子聚集在穩(wěn)定的圓形軌道里。擾動(dòng)器暫時(shí)更改電子軌道小弧的磁場(chǎng),以便可以接收注入的電子。擾動(dòng)器設(shè)計(jì)允許朝理論更改磁場(chǎng)同時(shí)不干擾理論軌道中的已有電子。擾動(dòng)器形成軌道,以便引入電子能最后采用穩(wěn)定圓形軌道。

儲(chǔ)存環(huán)還有一個(gè)高頻腔為電子提供補(bǔ)償能量,以便它們?cè)谶\(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)保持設(shè)計(jì)的能量。為了使儲(chǔ)存環(huán)有效運(yùn)行,精心使電子加速器的注入過(guò)程、擾動(dòng)器的運(yùn)行和高頻腔同步。最后儲(chǔ)存環(huán)形成一個(gè)在穩(wěn)定罩中運(yùn)轉(zhuǎn)電子的盤(pán)。X-ray target scattering

MIRRORCLE X-射線輸出

MIRRORCLE通過(guò)將微靶精心放入儲(chǔ)存環(huán)里沿軌道運(yùn)行電子的軌道來(lái)X射線。一些電子影響靶原子,并發(fā)射出韌致輻射X射線。電子軌道、靶原子的大小和位置最后形成廣泛的對(duì)撞局面,最后發(fā)射出寬帶X射線。

因?yàn)閹缀螌W(xué)和產(chǎn)生小的二次散射薄靶的原因,這些X射線以完全定義好的錐形束流模式發(fā)射出來(lái)。儲(chǔ)存環(huán)上的3個(gè)X射線出口允許在實(shí)驗(yàn)的配置上具有機(jī)動(dòng)性。

MIRRORCLE的X射線質(zhì)量和亮度極高,因?yàn)榘l(fā)射點(diǎn)很小。在許多情況下,亮度可與安裝的大的同步加速器設(shè)施如SPRING-8相比。錐形束流X射線還具有高級(jí)的空間相干性。MIRRORCLE靶的運(yùn)行與典型的X射線光源如X射線管和直線加速器有很大不同,區(qū)別在于微型靶不吸收大量的能量,因此沒(méi)有加熱問(wèn)題。此外,電子在儲(chǔ)存環(huán)中的再循環(huán)導(dǎo)致X射線的高轉(zhuǎn)換效率。MIRRORCLE產(chǎn)品提供不同靶的配置和功率水平。

MIRRORCLE 遠(yuǎn)紅外輻射(FIR)輸出

一些MIRRORCLE產(chǎn)品的配置包括光子儲(chǔ)存環(huán)(PhSR)。這是個(gè)極為精密的桶形反射鏡,在電子軌道周?chē)袀€(gè)反射內(nèi)面。

PSR mirror

PhSR收集電子軌道整個(gè)周?chē)耐捷椛?,反射鏡中的一個(gè)孔允許收集到的輻射逃逸。一個(gè)特殊形狀的第二個(gè)反射鏡將輻射從孔引導(dǎo)到其他反射鏡,后者將輻射引導(dǎo)到儲(chǔ)存環(huán)上的輸出出口。

PhSR diagram 1

光子儲(chǔ)存環(huán)的一個(gè)關(guān)鍵特點(diǎn)是將收集到的輻射反射回到沿軌道運(yùn)行的電子中。在某些情況下,這個(gè)配置引起激光并使遠(yuǎn)紅外線輻射輸出增加幾個(gè)數(shù)量級(jí)。 

PhSR output graph 

同步加速器產(chǎn)生的光是許多科技領(lǐng)域里極其強(qiáng)大的研究工具。同步加速器的光一度被認(rèn)為是寄生的損耗,而現(xiàn)在該光卻成為建造許多同步加速器的理由。然而,在同步加速器光中發(fā)現(xiàn)的巨大效用卻帶有明顯的缺陷,即建造大型同步加速器的費(fèi)用極為昂貴,加速器龐大的體積意味著科學(xué)家們必須到擁有這種大型設(shè)備的地方去排隊(duì)等候使用X射線來(lái)做實(shí)驗(yàn)。因此利用這種光的渴望受到抑制。 

科學(xué)家們?cè)缭诶碚撋献C明加速器的體積是可以縮小的(刊登在2005年出版的《自然》雜志),日本立命館大學(xué)的Shiga光子生產(chǎn)實(shí)驗(yàn)室(Shiga Photon Production Laboratory)經(jīng)過(guò)15年的努力,成功研制出一種小型的、可以放入實(shí)驗(yàn)室的微型同步加速器光源——MIRRORCLE-6X,并已經(jīng)開(kāi)始在市場(chǎng)上出售。光子生產(chǎn)實(shí)驗(yàn)室準(zhǔn)備將MIRRORCLE-6X的性能提高到一個(gè)更高的水平,并將其系列產(chǎn)品推向市場(chǎng)。 

MIRRORCLE-6X的儲(chǔ)存環(huán)直徑為60厘米,整臺(tái)機(jī)器很容易放入實(shí)驗(yàn)室,使用新型的電子注入技術(shù),它能產(chǎn)生能量達(dá)到幾百萬(wàn)電子伏特的X射線。直徑在幾十米到數(shù)百米的大型同步加速器一般也產(chǎn)生出這個(gè)數(shù)量級(jí)的X射線。通過(guò)幾個(gè)新穎的創(chuàng)新,MIRRORCLE-6X達(dá)到異常性能,同步光的生產(chǎn)效率非常高,而且有效地利用空間。MIRRORCLE-6X發(fā)射出對(duì)許多應(yīng)用理想的寬帶X射線。值得注意的是與常規(guī)X射線成像相比它的相襯成像能力,生物軟組織隨時(shí)可以看到,到同時(shí)可以將金屬、塑料和橡膠部件成像的非破壞性試驗(yàn)。 

MIRRORCLE-6X的迷人之處在于用與大型加速器相比,較低的費(fèi)用就可獲得同步加速器的光。每臺(tái)MIRRORCLE-6X的銷(xiāo)售價(jià)格為250萬(wàn)美元,雖然絕大多數(shù)實(shí)驗(yàn)室短期內(nèi)仍難以承受,但參與了這臺(tái)機(jī)器研制的Hironari Yamada教授說(shuō),從半導(dǎo)體制造商到制藥公司的許多私人公司都在排隊(duì)購(gòu)買(mǎi)這一設(shè)備。世界上最小的同步加速器前途光明。

光子生產(chǎn)實(shí)驗(yàn)室發(fā)展簡(jiǎn)史

1989年 - 提出光子儲(chǔ)存環(huán)概念

1989年 -  建造了第一個(gè)超導(dǎo)圓形儲(chǔ)存環(huán),被Hironari Yamada博士(右圖)稱(chēng)為士AURORA 。成功的建造鼓舞科學(xué)家們繼續(xù)開(kāi)展這一領(lǐng)域里的研究。

1996年 -  Hironari Yamada 博士開(kāi)發(fā)新的微型同步加速器理論,并提出建造專(zhuān)門(mén)生產(chǎn)硬X射線的臺(tái)式同步加速器。潛在的商業(yè)可能性出現(xiàn),建議成立光子生產(chǎn)實(shí)驗(yàn)室。

1997-為將率先發(fā)明的MIRRORCLE技術(shù)商品化,光子生產(chǎn)實(shí)驗(yàn)室(左圖)成立。

2000年 -在日本立命館大學(xué)Hironari Yamada博士的指導(dǎo)下,Yamada實(shí)驗(yàn)室建造了MIRRORCLE-20。12月,首次運(yùn)行。

2003年 -  在日本立命館大學(xué)Hironari Yamada博士的指導(dǎo)下,Yamada實(shí)驗(yàn)室建造了世界上最小的同步加速器,即臺(tái)式MIRRORCLE-6X。12月,首次運(yùn)行。

2004年 – 12月,首次在光子儲(chǔ)存環(huán)中觀測(cè)到激光,這一觀測(cè)是根據(jù)Hironari Yamada 教授和Andrey Kleev博士發(fā)展的理論進(jìn)行的。

2005年 – 第一臺(tái)MIRRORCLE-20SX裝置率先將X射線光刻用于半導(dǎo)體工業(yè)。

將來(lái)- MIRRORCLE技術(shù)繼續(xù)發(fā)展并重新界定在實(shí)驗(yàn)室里可做什么。

MIRRORCLE同步加速器的原理 

MIRRORCLE同步加速器有兩個(gè)基本部件,一個(gè)古典的電子加速器和一個(gè)儲(chǔ)存環(huán)。電子加速器發(fā)射電子并將其加速到設(shè)計(jì)水平,然后將它們注入儲(chǔ)存環(huán)。 根據(jù)MIRRORCLE同步加速器的配置,運(yùn)轉(zhuǎn)電子中的一個(gè)靶產(chǎn)生X射線,或者軌道周?chē)囊粋€(gè)桶形反射鏡收集遠(yuǎn)紅外同步輻射。

電子加速器運(yùn)行

MIRRORCLE技術(shù)概念簡(jiǎn)單,從任何意義上來(lái)說(shuō),電子加速器發(fā)射和加速電子并非非同尋常。在由脈沖速調(diào)管驅(qū)動(dòng)的高頻腔內(nèi)強(qiáng)磁場(chǎng)的影響下,一臺(tái)典型的發(fā)射機(jī)釋放出電子。當(dāng)電子重復(fù)穿過(guò)高頻腔并被加速時(shí),電子加速器的等磁場(chǎng)環(huán)境使電子在更大的軌道里運(yùn)轉(zhuǎn)。一旦電子達(dá)到電子加速器的設(shè)計(jì)水平,相當(dāng)于電子運(yùn)行的最大軌道,它們進(jìn)入一個(gè)引出道并被注入到儲(chǔ)存環(huán)。Perturbator effect

MIRRORCLE-6X簡(jiǎn)介 

 MIRRORCLE-6X JPG

MIRRORCLE-6X是世界上最小的同步加速器,小到可以安裝在工業(yè)和實(shí)驗(yàn)室的環(huán)境里,但功率又大到足以滿(mǎn)足許多對(duì)X射線的需要。它利用6 MeV電子與鎢微靶對(duì)撞通過(guò)韌致輻射產(chǎn)生亮的寬帶X射線。標(biāo)準(zhǔn)尺寸1微米的靶可減少到開(kāi)展應(yīng)用所需要的0.1微米,并以新的性能價(jià)格比水平,使擁有一臺(tái)這樣的同步加速器成為現(xiàn)實(shí)。MIRRORCLE-6X是個(gè)產(chǎn)品,隨時(shí)可滿(mǎn)足客戶(hù)的需要。右上圖為MIRRORCLE-6X獲得的肺成像

MIRRORCLE-6X參數(shù)  

同步加速器類(lèi)型

弱聚焦精密圓形機(jī)器

電子能量

6 MeV

外徑

60 cm

電子軌道半徑

15 cm

RF頻率

2.45 GHz

連續(xù)波速調(diào)管功率

10 kW

諧波

8

重量

~0.5 t

臨界波長(zhǎng)

300 μm

帶光學(xué)反射鏡的紅外線功率

可選擇

束流壽命

10 - 20 ms

注入方法

1/2 整數(shù)共振

注入重復(fù)率

400 Hz

注入器類(lèi)型

古典電子加速器

電子能量

6 MeV

峰值電流

100 mA

外徑

60 cm

重量

~0.5 t

X射線發(fā)射配置

韌致輻射1 μm Φ 靶
可選0.1 μm Φ靶

X射線能區(qū)

10 keV - 6 MeV

X射線積分功率

> 10^14光子通亮/s/0.1% λ

亮度

> 10^10光子/秒/mrad2/0.1% λ

輝度

> 10^16光子/秒/mrad2/mm2 /0.1% λ

輻照?qǐng)?SPAN lang=EN-US style="FONT-SIZE: 12pt; FONT-FAMILY: Helvetica; mso-bidi-font-family: Helvetica" _fckxhtmljob="1">

85 mrad

總功率

~150 kVA

控制系統(tǒng)

自動(dòng)備用和運(yùn)行
遠(yuǎn)程監(jiān)視和診斷
緊急情況關(guān)機(jī)系統(tǒng)

標(biāo)準(zhǔn)價(jià)格

大約2500萬(wàn)美元

  

MIRRORCLE-6S簡(jiǎn)介 

MIRRORCLE-6S為軟X射線型MIRRORCLE-6X。實(shí)體上類(lèi)似,它采用特殊靶獲得所需結(jié)果。

MIRRORCLE-6S參數(shù)

同步加速器類(lèi)型

弱聚焦精密圓形機(jī)器

電子能量

6 MeV

外徑

60 cm

電子軌道半徑

15 cm

RF頻率

2.45 GHz

連續(xù)波速調(diào)管功率

10 kW

諧波

8

重量

~0.5 t

臨界波長(zhǎng)

300 μm

帶光學(xué)反射鏡的紅外線功率

可選擇

束流壽命

10 - 20 ms

注入方法

1/2整數(shù)共振

注入重復(fù)率

400 Hz

注如器類(lèi)型

古典電子加速器

電子能量

6 MeV

峰值電流

100 mA

外徑

60 cm

重量

~0.5 t

X射線發(fā)射配置

晶體靶或波帶片靶

X射線能量范圍

10 keV -30 KeV

X射線積分功率

> 10^14 光子通亮/秒/0.1% λ

亮度

> 10^14光子/秒/mrad2/0.1% λ

輝度

> 10^16光子/秒/mrad2/mm2 /0.1% λ

輻照?qǐng)?SPAN lang=EN-US style="FONT-SIZE: 12pt; FONT-FAMILY: Helvetica; mso-bidi-font-family: Helvetica" _fckxhtmljob="1">

10 mrad

總功率

~150 kVA

控制系統(tǒng)

自動(dòng)備用和運(yùn)行
遠(yuǎn)程監(jiān)視和診斷
緊急情況關(guān)機(jī)系統(tǒng)

標(biāo)準(zhǔn)價(jià)格

大約270萬(wàn)美元

  

MIRRORCLE-20SX簡(jiǎn)介 

MIRRORCLE-20SX的目標(biāo)之一是滿(mǎn)足半導(dǎo)體工業(yè)對(duì)利用X射線進(jìn)行光刻的需要。下一步要生產(chǎn)更小的集成電路就要從極度的紫外線轉(zhuǎn)為X射線。但許多X射線源并不具備滿(mǎn)足這一要求高功率應(yīng)用的能力。MIRRORCLE-20SX可在25mm×25mm區(qū)域發(fā)送所需要的功率。 

X-Ray Lithography Setup

MIRRORCLE-20SX參數(shù)

同步加速器類(lèi)型     

 弱聚焦精密圓形機(jī)器

電子能量

20 MeV

外徑

<80 cm

電子軌道半徑

15 cm

RF頻率

2.45 GHz

連續(xù)波速調(diào)管功率

10 kW

諧波

8

重量

~2 t

臨界波長(zhǎng)

8 μm

帶光學(xué)反射鏡的紅外線功率

1 mW/1%譜帶@ 8mm

束流壽命

10 - 20 ms

注入方法

1/2整數(shù)共振

注入重復(fù)率

400 Hz

注入器類(lèi)型

古典電子加速器

電子能量

20 MeV

峰值電流

100 mA

外徑

1.3 m

重量

~1.75 t

X射線發(fā)射配置

相干穿越輻射10疊薄膜

X射線能量范圍

1 keV - 5 KeV

X射線積分功率

> 50 mW/cm2

亮度

N/A

輝度

N/A

輻照?qǐng)?SPAN lang=EN-US style="FONT-SIZE: 12pt; FONT-FAMILY: Helvetica; mso-bidi-font-family: Helvetica" _fckxhtmljob="1">

1英寸2

總功率

~200 kVA

控制系統(tǒng)

自動(dòng)備用和運(yùn)行
遠(yuǎn)程監(jiān)視和診斷
緊急情況關(guān)機(jī)系統(tǒng)

標(biāo)準(zhǔn)價(jià)格

大約300萬(wàn)美元

 

高能所科研處制作,內(nèi)容由侯儒成譯自Shiga Photon Production Laboratory網(wǎng)及200533日出版的《自然》雜志


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