An improved differential-grating plane-mirror heterodyne interferometer for small roll angle measurement of a linear motion
- 聯(lián)系作者：
- 刊物名稱：REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS
- 所屬學(xué)科：
- 作者：Tang, SZ; Ren, ZR; Han, QF et al.
- 發(fā)表年度：2020
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