A closed-circulation system for chemical polishing of the 1.3-GHz single-cell copper cavity substrate for niobium sputtering
- 聯(lián)系作者：
- 刊物名稱：JOURNAL OF INSTRUMENTATION
- 所屬學(xué)科：
- 作者：Yang, FY; Dai, J; Zhang, P et al.
- 發(fā)表年度：2021
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