Effect of atomic-scale microstructures on TiZrV non-evaporable getter film activation
- 聯(lián)系作者：
- 刊物名稱：JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B
- 所屬學(xué)科：
- 作者：Shi, QZ; Wang, SH; Wang, PC et al.
- 發(fā)表年度：2023
- 卷：
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- 論文類別：
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