Evaluating an electric field modulated plasma enhanced atomic layer deposition of platinum layers on different substrates
- 聯(lián)系作者：
- 刊物名稱：JOURNAL OF APPLIED PHYSICS
- 所屬學科：
- 作者：Yan, MM; Zhang, TC; Wang, B et al.
- 發(fā)表年度：2023
- 卷：
- 期：
- 頁：
- 論文類別：
- 影響因子：
- 參與作者：
- DOI：
