Influence of the edge effect of the solenoid magnetic field on the discharge process of magnetron sputtering in long and narrow chambers
- 聯(lián)系作者：
- 刊物名稱：JOURNAL OF INSTRUMENTATION
- 所屬學科：
- 作者：Wang, Pengcheng; Zhu, Bangle; Liu, Jiaming et al.
- 發(fā)表年度：2024
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