一種用于細(xì)管道內(nèi)壁的磁控濺射鍍膜裝置
- 英文名稱：A magnetron sputtering coating device for the inner wall of thin pipes
- 專利號：ZL 202210354033.0
- 專利類別：發(fā)明授權(quán)
- 專利證書號：
- 申請?zhí)枺?/span>CN202210354033.0
- 發(fā)明人：劉佳明; 王鵬程; 劉順明; 譚彪; 孫曉陽; 關(guān)玉慧
- 其它發(fā)明人：
- 申請日期：2022-04-06
- 授權(quán)日期：2024-12-24
