一種晶圓清洗夾具
- 英文名稱(chēng)：A wafer cleaning clamp
- 專(zhuān)利號(hào)：ZL 202420269448.2
- 專(zhuān)利類(lèi)別：實(shí)用新型
- 專(zhuān)利證書(shū)號(hào)：
- 申請(qǐng)?zhí)枺?/span>CN202420269448.2
- 發(fā)明人：蔡健榮; 張愛(ài)梅; 高鶴
- 其它發(fā)明人：
- 申請(qǐng)日期：2024-02-04
- 授權(quán)日期：2024-12-10
