六自由度納米級振動(dòng)裝置
- 英文名稱:Six-degree-of-freedom nanoscale vibration device
- 專利號:ZL 202420158058.8
- 專利類別:實(shí)用新型
- 專利證書號:
- 申請?zhí)枺?/span>CN202420158058.8
- 發(fā)明人:王廣源; 劉磊; 于永積; 陳佳鑫; 康玲; 劉仁洪; 張俊嵩; 余潔冰; 寧常軍; 聶小軍; 賀華艷
- 其它發(fā)明人:
- 申請日期:2024-01-23
- 授權(quán)日期:2024-11-22