一種基于近場散斑的曲面波前與面形高精度檢測方法
- 英文名稱：The present invention relates to a high-accuracy detection method of curved surface wavefront and surface form based on near-field speckle
- 專利號：ZL 202111510919.1
- 專利類別：發(fā)明授權(quán)
- 專利證書號：
- 申請?zhí)枺?/span>CN202111510919.1
- 發(fā)明人：李凡; 康樂; 楊福桂; 李明
- 其它發(fā)明人：
- 申請日期：2021-12-10
- 授權(quán)日期：2024-01-26
