一種雙面碳化硅PIN結(jié)構(gòu)微條輻射探測器及其制備方法
- 英文名稱：The invention relates to a double-sided silicon carbide PIN structure micro-strip radiation detector and a preparation method thereof
- 專利號：ZL 202210198261.3
- 專利類別：發(fā)明授權(quán)
- 專利證書號：
- 申請?zhí)枺?/span>CN202210198261.3
- 發(fā)明人：崔興柱; 夏曉川; 梁曉華; 梁紅偉; 汪錦州
- 其它發(fā)明人：
- 申請日期：2022-03-02
- 授權(quán)日期：2023-09-26
