超導(dǎo)腔等離子體清洗氣路裝置
- 英文名稱(chēng)：Superconducting cavity plasma cleaning gas path device
- 專(zhuān)利號(hào)：ZL 202222986081.X
- 專(zhuān)利類(lèi)別：實(shí)用新型
- 專(zhuān)利證書(shū)號(hào)：
- 申請(qǐng)?zhí)枺?/span>CN202222986081.X
- 發(fā)明人：張聰; 王云; 劉華昌; 吳小磊; 陳強(qiáng); 李阿紅; 瞿培華; 李波; 樊夢(mèng)旭; 周文中; 楊鑰
- 其它發(fā)明人：
- 申請(qǐng)日期：2022-11-08
- 授權(quán)日期：2023-09-19
