一種低阻抗束流位置探測器及其制作方法
- 英文名稱：The invention relates to a low-impedance beam position detector and a manufacturing method thereof
- 專利號：ZL 202010857892.2
- 專利類別：發(fā)明授權(quán)
- 專利證書號：
- 申請?zhí)枺?/span>CN202010857892.2
- 發(fā)明人：王安鑫; 田塞克; 聶小軍; 隨艷峰; 何俊; 劉磊; 朱東輝; 陳佳鑫; 賀華艷; 余潔冰; 王廣源; 于永積; 寧常軍; 張俊嵩; 劉仁洪; 康玲
- 其它發(fā)明人：
- 申請日期：2020-08-24
- 授權(quán)日期：2022-07-12
