一種高功率波長可調的極紫外光源的產生裝置及方法
- 英文名稱：The invention relates to a device and a method for generating an extreme ultraviolet light source with adjustable high-power wavelength
- 專利號：ZL 202010712239.7
- 專利類別：發(fā)明授權
- 專利證書號：
- 申請?zhí)枺?/span>CN202010712239.7
- 發(fā)明人：黃永盛
- 其它發(fā)明人：
- 申請日期：2020-07-22
- 授權日期：2022-05-17
