Pd/Ti雙層吸氣劑薄膜的制備方法和Pd/Ti雙層吸氣劑薄膜
- 英文名稱：The invention relates to a preparation method of a Pd/Ti double-layer getter film and the Pd/Ti double-layer getter film
- 專利號：ZL 202010968218.1
- 專利類別：發(fā)明授權(quán)
- 專利證書號：
- 申請?zhí)枺?/span>CN202010968218.1
- 發(fā)明人：張志偉; 何平; 馬永勝
- 其它發(fā)明人：
- 申請日期：2020-09-15
- 授權(quán)日期：2022-01-04
