一種磁控濺射鍍膜裝置及系統(tǒng)
- 英文名稱：Magnetron sputtering coating device and system
- 專利號(hào)：ZL 202022957486.1
- 專利類別：實(shí)用新型
- 專利證書(shū)號(hào)：
- 申請(qǐng)?zhí)枺?/span>CN202022957486.1
- 發(fā)明人：黃濤; 劉佳明; 王鵬程; 劉順明; 譚彪; 馬永勝
- 其它發(fā)明人：
- 申請(qǐng)日期：2020-12-09
- 授權(quán)日期：2021-09-14
