專利
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一種短脈沖曝光裝置

  • 英文名稱:Short pulse exposure device
  • 專利號:ZL 202020968742.4
  • 專利類別:實(shí)用新型
  • 專利證書號:
  • 申請?zhí)枺?/span>CN202020968742.4
  • 發(fā)明人:默廣; 周愛玉; 吳忠華; 邢雪青; 李志宏; 姚磊; 陳中軍; 鄭黎榮; 施展
  • 其它發(fā)明人:
  • 申請日期:2020-06-01
  • 授權(quán)日期:2020-12-15
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