光柵外差干涉系統(tǒng)及其滾轉(zhuǎn)角測(cè)量方法
- 英文名稱：Grating heterodyne interference system and roll angle measurement method thereof
- 專利號(hào)：ZL 201810556703.0
- 專利類別：發(fā)明授權(quán)
- 專利證書號(hào)：
- 申請(qǐng)?zhí)枺?/span>CN201810556703.0
- 發(fā)明人：湯善治; 李明; 盛偉繁; 王赫影
- 其它發(fā)明人：
- 申請(qǐng)日期：2018-05-31
- 授權(quán)日期：2020-10-16
