半導體氣敏傳感器及其制備方法
- 英文名稱:Semiconductor gas sensor and its preparation method
- 專利號:ZL 201610179398.9
- 專利類別:發(fā)明授權
- 專利證書號:
- 申請?zhí)枺?/span>CN201610179398.9
- 發(fā)明人:劉靜; 伊福廷; 張?zhí)鞗_; 王波; 王雨婷
- 其它發(fā)明人:
- 申請日期:2016-03-25
- 授權日期:2019-02-15