二次電子特性參數(shù)的測量裝置和方法
- 英文名稱：Secondary electronic characteristic parameter measuring apparatus and method
- 專利號：ZL 201510409157.4
- 專利類別：發(fā)明授權(quán)
- 專利證書號：
- 申請?zhí)枺?/span>CN201510409157.4
- 發(fā)明人：王鵬程; 劉瑜冬
- 其它發(fā)明人：
- 申請日期：2015-07-13
- 授權(quán)日期：2017-11-21
