一種雙衍射光柵外差干涉的滾轉(zhuǎn)角測(cè)量裝置及方法
- 英文名稱(chēng):A double diffraction grating heterodyne interference of the rolling angle measuring device and method
- 專(zhuān)利號(hào):ZL 201510015152.3
- 專(zhuān)利類(lèi)別:發(fā)明授權(quán)
- 專(zhuān)利證書(shū)號(hào):
- 申請(qǐng)?zhí)枺?/span>CN201510015152.3
- 發(fā)明人:湯善治; 李明; 盛偉繁
- 其它發(fā)明人:
- 申請(qǐng)日期:2015-01-12
- 授權(quán)日期:2017-09-08