軟X射線遮光膜及其制備方法
- 英文名稱:Soft X-ray light shielding film and its preparation method
- 專利號(hào):ZL 201210289501.7
- 專利類別:發(fā)明授權(quán)
- 專利證書(shū)號(hào):
- 申請(qǐng)?zhí)枺?/span>CN201210289501.7
- 發(fā)明人:陳田祥; 胡渭; 孫慶榮; 陳勇; 李曉軍
- 其它發(fā)明人:
- 申請(qǐng)日期:2012-08-14
- 授權(quán)日期:2015-09-30