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Dynamic properties of a metal photo-thermal micro-actuator

  • 聯(lián)系作者:Zhang, DX
  • 刊物名稱:APPLIED OPTICS
  • 所屬學科:
  • 作者:
  • 發(fā)表年度:2015
  • 卷:54
  • 期:6
  • 頁:1369-1373
  • 論文類別:
  • 影響因子:
  • 參與作者:
  • DOI:10.1364/AO.54.001369
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